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東莞市揖電真空機電專(zhuān)業(yè)GXS450愛(ài)德華螺桿泵維修，愛(ài)德華GXS450螺桿泵在（顆粒，腐蝕物）環(huán)境下有著(zhù)高可靠性，例如PECVD，LPCVD中。IH600工作在大氣壓和極限壓力之間，無(wú)需潤滑，這樣就確保了油不會(huì )被反抽到系統中。IH600系統有一個(gè)HCDP80干泵；HCMB-600干泵。IH600系統適用于無(wú)風(fēng)冷電機的潔凈環(huán)境中。IH600干泵系統還擁有運送清潔氣體進(jìn)入HCDP泵的氣體系統，適用于制程物嚴重的工藝中。使用在較低要求的工藝下可共同改變氣體排放模式改變N2消耗量。通過(guò)顯示終端可手動(dòng)控制真空系統。另外，可以通過(guò)接口模塊或即時(shí)通訊模塊或IH單設備監控器使用其他控制設備去操作IH干泵系統。 半導體晶圓廠(chǎng)的應用包括： LOADLOC 傳送 測量 光刻 物理氣相沉積工藝 物理氣相沉積預清潔 快速熱退火 去膠 蝕刻 高密度等離子化學(xué)氣相沉積 高密度等離子體化學(xué)氣相沉積快速熱處理 大氣化學(xué)氣相沉積sacvd 鎢化學(xué)氣相沉積等離子體增強化學(xué)氣相沉積 低壓化學(xué)氣相淀積。

GX 泵的峰值速度范圍很寬，并可以改變以適合各種應用條件，包括從清潔到中等負載制程。 模塊化設計允許用戶(hù)對 GX1000N干泵進(jìn)行配置以適合各個(gè)工廠(chǎng)的要求。 超緊湊的占地面積允許使用包括工具上、近程和遠程在內的多種安裝選項。

GXS450愛(ài)德華螺桿泵維修功能及優(yōu)勢：低運行成本與 iL/iH 干泵相比，設施成本最多可降低 50%，無(wú)需預防性維護，靈活的安裝選項小巧輕便，便于安裝，工具上近程或遠程可以改進(jìn)工具吞吐量。

可用的快的負載鎖定泵全程一致的泵送性能，在 50 和 60 Hz 下抽速相同，降低了環(huán)境噪音僅 55 dB(A)。